AI优化芯片制造 中芯国际良率提升12%
发布时间：2025-07-25
浏览次数：679
中芯国际今日公布，在14nm工艺产线部署智能过程控制系统后，晶圆良率从81%提升至93%，缺陷检测速度提高20倍。这是中国芯片制造首次大规模应用AI质控。
工程师演示：AI实时分析2000多个传感器数据，能在刻蚀环节预测等离子体不均匀并自动调节参数。最突破的是发现人类长期忽视的显影液温度微小波动对线宽的影响。
该技术将应用于新建的7nm产线。分析师认为，这使中国在成熟制程的竞争力进一步增强。
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中芯国际今日公布，在14nm工艺产线部署智能过程控制系统后，晶圆良率从81%提升至93%，缺陷检测速度提高20倍。这是中国芯片制造首次大规模应用AI质控。
工程师演示：AI实时分析2000多个传感器数据，能在刻蚀环节预测等离子体不均匀并自动调节参数。最突破的是发现人类长期忽视的显影液温度微小波动对线宽的影响。
该技术将应用于新建的7nm产线。分析师认为，这使中国在成熟制程的竞争力进一步增强。
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