AI优化芯片制造 中芯国际7nm良率突破90%
发布时间：2025-12-21
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中芯国际今日公布，在7nm工艺产线部署智能过程控制系统后，晶圆良率从75%提升至92%，缺陷检测速度提高25倍。这是中国芯片制造首次在先进节点大规模应用AI质控。
工程师演示：AI实时分析3000多个传感器数据，能在刻蚀环节预测等离子体不均匀并自动调节。最突破的是发现显影液温度微小波动对线宽的影响，该发现已形成新的行业标准。
该技术将应用于5nm研发。分析师认为，这使中国在成熟制程的竞争力持续增强。
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