AI优化7nm芯片制造 中芯国际良率突破行业纪录
发布时间：2025-07-26
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中芯国际今日公布，智能过程控制系统使7nm工艺良率提升至94%，超越行业平均水平。AI实时调控3000多个参数，将缺陷检测速度提高30倍，年节省成本超20亿元。
工程师展示：系统能在刻蚀环节预测等离子体不均匀并自动调节。最突破的是发现显影液温度波动对线宽的微观影响，该发现已形成新的行业标准。5nm研发中AI正探索新材料组合。
分析师认为，这使中国在成熟制程的竞争力持续增强，全球市场份额有望进一步提升。
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